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光刻机原理是什么为什么我国没有这个？

3cc21c9114a9e94a 2020-01-12 浏览量：916
  光刻机原理是什么为什么我国没有这个？
工控电子
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  • 原理实际上跟照相机差不多，不过它的底片是涂满光敏胶（也叫光刻胶）的硅片。

    各种电路图案经激光缩微投影曝光到光刻胶上，光刻胶的曝光部分与硅片进行反应，

    将其永久的刻在硅片上，这是芯片生产的最关键步骤​


    光刻机中国能制造，但是精度不如国外。

    中国科学院成都光机所和四十五所，能制造接近接触式光刻机。

    上海微电子装备有限公司能够制造投影式光刻机。在LED、IC后道和平板显示的微米级光刻机都有不少销量。

    IC前道光刻机分辨力要求较高，目前只能制造百纳米或几十纳米级别光刻机。

    核心技术包括投影物镜、精密运动台和精密测量系统等。对于最先进的光刻机，关键的镜片、传感器和电机等依靠进口。
    • 发布于 2020-01-13
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其他答案 数量：5
  •      光刻机是用来芯片制程。我国目前也有公司可以做。 上海有一家公司可以做。28NM 工艺的。 估计还没有量产。 现在先进的技术是5NM 工艺。
    • 发布于2020-01-12
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  • 光刻机我国有，只是精度不是业界最顶级的。需要搞清楚这个概念差别。

    所谓光刻机的关键就是精密的控制，包括镜头、光线（光源），试想相关差异已经到了几nm的尺度啦，任何普通人觉得的微小的差异在这个尺度上其实都已经是巨大的差异啦。

    • 发布于2020-01-12
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  • 关键是精度，现在都是纳米级的工艺，这个技术目前我们确实做不到，最重要的我觉得是高精度的对准，要攻克这一难题，也是任重而道远啊。
    • 发布于2020-01-14
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  • 光刻机是种通过激光刻蚀晶体来制作芯片的机器

    我国也有光刻机，不过精度没有老外的高，所以无法实现较为先进的工艺

    • 发布于2020-01-15
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  • 通过激光对硅上面打阱惨杂来实现电路和器件功能，这个国内暂时没法生产，而且现在有钱也买不到机器，国外不会买给中国
    • 发布于2020-02-02
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